由于磷酸钠和聚合磷酸盐对人体和环境无毒副作用，且价格低廉，所以在复合型碱性清洗剂中常用。

系统内的油脂污垢、有机胶体、微生物污染等一般需要利用碱的强渗透力和分散能力才能有效地去除。

由于甲酸挥发性好，清洗后无残留，适合用来清洗对残留物敏感的设备；对某些难溶解的金属氧化物（如过热器运行中形成的致密氧化物膜），甲酸是常用特效清洗剂。

氢氟酸可以和二氧化硅反应而使硅垢溶解，也可络合Fe3 04中的铁离子而使铁锈溶解，残液便于处理，用石灰中和即可。因而在不锈钢、玻璃和半导体元件的腐蚀清洗中常用

钢铁设备的酸洗常使用硫酸，98%的工业硫酸经稀释后使用，一般使用浓度为3%-10%（质量分数），作业时可根据污垢的量而定，而且用硫酸清洗金属设备还必须添加一定量的缓蚀剂以防止腐蚀。